MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) — микроэлектромеханические устройства. В проекторах микрозеркала MEMS могут работать либо как матрица DMD в DLP, либо как сканирующее зеркало лазерного луча; это принципиально разные способы формирования изображения.
Иллюстрация. В DLP MEMS-механика образует массив зеркал DMD; в LBS одно или несколько зеркал разворачивают лазерный луч. Оба случая относятся к MEMS, но каталог должен различать архитектуры.
Что такое MEMS
MEMS объединяет микромеханические подвижные структуры и электронику управления, изготовленные с применением микроэлектронных технологий. В оптических приборах такими структурами могут быть крошечные зеркала. MEMS — не синоним лазера, DLP или MEMC: термин описывает элементную технологию, а не обязательно полный принцип проектора.
Два применения, которые важно различать
DLP / DMD. Цифровая микрозеркальная матрица Texas Instruments содержит множество управляемых зеркал. Они отклоняют свет в проекционную оптику или в сторону, формируя светлые и тёмные точки. DMD — действительно MEMS-устройство. Поэтому неверно утверждать, будто в DLP вообще нет MEMS.
Laser Beam Scanning (LBS). В сканирующей лазерной системе небольшой подвижный зеркальный элемент (или несколько) разворачивает узкий лазерный луч по области изображения. Мощность цветовых лазеров изменяется синхронно с положением луча. В отличие от DMD, здесь не требуется полная двухмерная матрица микрозеркал, по одному на каждый участок изображения.
Зачем лазерному сканированию MEMS
Сканирующая оптика позволяет создавать компактные оптические модули — например, для pico-проекторов, очков дополненной реальности и проекционных дисплеев. Результат зависит от скорости и точности сканирования, качества лазеров, оптической конструкции и системы управления. Нельзя обещать автоматически высокую яркость, отсутствие спекла, идеальную фокусировку или лучшую контрастность только по слову MEMS.
Ограничения и диагностика
В LBS-системе нарушения в работе привода микрозеркала и обратной связи способны проявляться в виде искажений геометрии, изменения области сканирования или нестабильного изображения. Такие симптомы не уникальны для MEMS и требуют полноценной диагностики. Не исследуйте лазерный оптический блок с открытым корпусом при включённом излучении: следуйте ограничениям лазерной безопасности и сервисной документации.
В DLP-проекторе неисправности DMD диагностируют по методике проверки битых пикселей DMD; её нельзя механически переносить на LBS-сканер.
Как классифицировать модель
Для каталога сохранять «Технология формирования изображения: DLP (DMD)» либо «Лазерное сканирование (LBS, MEMS-сканер)», если это подтверждено документацией. При отсутствии подтверждения оставлять «неизвестно». Отдельный фильтр «MEMS-сканирование» не должен автоматически включать все DLP-модели: их DMD тоже основан на MEMS, но это не лазерное сканирование.
Примечание: наличие лазерного источника света не доказывает LBS; лазер может освещать обычную матрицу DLP или LCD. Смотрите также источники света и MEMC — обработка движения.